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在能源和环保两大驱动力的作用下,全球光伏产业年平均增长超过30%。光伏产业用多晶硅锭是以高纯多晶硅为原料定向凝固铸成,而高纯多晶硅的主要方法---西门子法--- 能耗大、污染重,且此方法的关键技术一直由美、日、德三国垄断,不向输出。我国的高纯多晶硅只能依赖大量进口,但远不能满足市场需求,导致光伏产业的发展受制于人,因此发展具有自主知识产权的多晶硅生产新技术迫在眉睫。
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通过石墨加热器产生的高温将其熔化,然后,对熔化的硅液稍降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长,接着,控制籽晶生长出一段长为100mm 左右,直径为3~5mm的细颈,用于高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程是引晶,随后。原理简介首先放大晶体直径到工艺要求的大小。把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚。主机部分:机架单晶硅生长炉原理简介单晶硅生长炉的特点\单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的设备。主要由主机高像素CCD测径ADC系统和具有知识产权的“全自动Cz法晶体生长SCADA系统”,可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成,进行一定的保温冷却后可以取出。放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩,接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角,然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度。